B-25 マグネトロンスパッタリング法で作製したリン酸カルシウム薄膜の物性 : 第2報 赤外線急速加熱処理による膜の溶解性の制御

正雄 吉成; 直人 奥森; 徹 早川; 君也 根本; A Jansen John.

doi:10.1016/j.xfre.2023.02.006

B-25 マグネトロンスパッタリング法で作製したリン酸カルシウム薄膜の物性 : 第2報赤外線急速加熱処理による膜の溶解性の制御

Identifier:nobleid.org/w1/20260515/229FF9EB

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