01aB01 RF-MBE法に用いる窒素ラジカル源の低輝度と高輝度励起モード切換(半導体エピ(1),第36回結晶成長国内会議)

下村 浩司; 折出 和章; 山邊 信彦; 乾 紘輔; 武田 祥宏; 芝滝 健太郎; 有屋 田修; 和田 元; 大鉢 忠

doi:10.19009/jjacg.33.4_197

01aB01 RF-MBE法に用いる窒素ラジカル源の低輝度と高輝度励起モード切換(半導体エピ(1),第36回結晶成長国内会議)

Identifier:nobleid.org/w1/20260515/7DA376AF

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