29aA19P インバータ式多相交流電源を用いたプラズマ生成とその応用(プラズマ応用)

遼一 江原; 広大 池田; 和憲 松本; 健治 長井; 弘慈 清水; 誠二 織田; 伸二 八島; 雄二 竹林; 一行 豊田

doi:10.1152/ajplegacy.1972.222.3.649

29aA19P インバータ式多相交流電源を用いたプラズマ生成とその応用(プラズマ応用)

Identifier:nobleid.org/w1/20260515/8B09FCDF

Type:Journal Article

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