v1
Роль фотоактивации адатомов алюминия в процессе образования тонких пленок AlN
Identifier:nobleid.org/w1/20260515/FC5CDD27
Type:Journal Article
0 views
Embeddable Badge
[](https://nobleid.org/work/w1/20260515/FC5CDD27)
Bibliometric Analysis
Impact metrics, research fronts, co-authorship networks →
Authors & Claims